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                zPictures/Product_224.jpg   AirGlide™高精度空氣軸承直線電機往復平臺

                AirGlide高精度空氣軸承直線電機往復平臺為超平滑空氣軸承PhotonBeamTM高級光纖定位系統,采用DPS獨特的 clog-free 空氣軸承技術,可以實現極其精確的速度控制,適合晶片掃描、晶片檢查、薄膜厚度測量、CD測量、存儲器維修、顯微鏡掃描探測、光纖布拉格寫入等應用。

                • Bragg(布拉格)光纖光柵系統。
                • 不加激光干涉儀反饋分辨率可達31 皮米(picometers)。
                • 定位跟蹤精度達5納米(nanometers)。
                • 極小的低速波動,掃描應用的理想選擇。
                • 高精度空氣軸承 。
                • 極好的抗偏擺和滾擺剛度,提供良好的穩定性。
                • ±0.5µm的平面度和直線度。

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